SF6氣體定量檢漏儀其原理為：空氣中含有的六氟化硫氣體濃度變化時，該混合氣體在高頻電磁場的作用下其電離的程度也將不同，通過檢測電離度即可反映六氟化硫濃度。

儀器采用小型真空泵，探頭與主機為分體式。具有體積小、重量輕、攜帶方便、靈敏度高、穩定性好、響應速度快、探頭不會中毒、不產生有毒氣體等特點。并有液晶顯示氣體濃度，使儀器

讀數更為方便準確。
SF6氣體定量檢漏儀新增了報警設定功能，當被測氣體濃度大于或等于設定值時，即自行發出報警聲。
本設備于于電力、鐵道、電器制造、化工、消防器材以及原子物理科研等部門對充有六氟化硫設備、容器進行檢漏，可以迅速、準確地定性和定量檢測。
技術數據
測量范圍（SF6）： 0.01ppm～500ppm（體積比）  
響應時間： 不大于3秒
指示方式： 液晶數字顯示和聲、光訊號報警 
報警設定范圍： 0.01ppm～500ppm（體積比）  
真空泵抽速： 0.5升/秒 
真空管道長度： 4米 
連續工作時間： 不大于4小時  
工作條件 ： 交流電源 220V 50Hz  
環境溫度 7℃-40℃  
相對濕度 不大于85%  
功率：約180W  
整機重量 ：約15Kg